臭氧氧化性强，对COD有一定的去除能力，具有在处理过程中不会产生三卤甲烷等致突变、致癌物质的优势，但臭氧水处理工艺直到现在也未大范围投入应用，究其原因主要是臭氧水处理工程一次性投资大、运行费用较高等。由于臭氧具有很强的氧化性，因此臭氧发生器、臭氧接触塔以及传输 .管道和阀门必须采用抗臭氧氧化的材料，包括玻璃、不锈钢、特氟隆和未增塑的聚氯乙烯塑料等，而这些材料的价格一般比较高。另一方面，在臭氧水处理工程中，为增大气液传质系数而设置的臭氧接触设备，不论是接触池或接触塔都比较庞大，都会使设备投资增加 .根据目前的臭氧制取技术，每制取1kg臭氧约耗电在20kW·h，按照每分解1kgCOD需要3kg的臭氧计算，则每处理1kgCOD需要28.8元。较高的运行费用也是这一技术未能大规模应用的主要因素之一,随着电子技术的发展，臭氧的造价必将逐步降低，新材料臭氧发生管的开发及传质技术的深入研究将很大程度地减少臭氧氧化技术的工程投资和运行费用，可以相信，臭氧氧化技术在不久的将来会得到广泛的应用。